真空泵机组的冷却问题_淄博斯特林机械设备百盈彩票平台

真空泵机组的冷却问题

时间:2018-02-13 浏览:
            真空泵机组为了避免泵腔内气体因温度过低而凝结,冷却水并不对工作腔进行冷却。的研究表明了干式涡旋真空泵机组的可行性,真空泵机组还有效地解决了动静盘热力变形造成的相互接触,离心力造成的动盘振动等问题。虽然采用水冷方式可以有效地解决干式涡旋真空泵机组的冷却问题,但是冷却水回路却不可避免地造成结构的复杂性。为此可以考虑采用风冷的方式以简化整机的结构。1998年,研制了采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵机组,其结构如图3所示。为了提高泵的抽速、涡盘采用双侧涡圈结构。该涡圈结构的优点在于:①抽速是普通涡圈的2倍。②动盘的轴向力具有自平衡的特点。
            主轴上装有两个冷却风扇,分别位于两个静盘的端部。主轴转动时带动风扇一起转动,达到对涡盘的冷却效果。同时它采用了半封闭式结构,解决了电动机的冷却问题。可见,该泵在结构上比KushiroT研制的干式涡旋真空泵机组更紧凑,且更易于装配。等公司所生产的干式涡旋真空泵机组产品均采用这种结构。型号为的产品为例,它的抽速为3m3/h(50Hz),极限压力可达到1Pa。2001年,我国东北大学与中国科学院沈阳科学仪器研制中心联合研制了该类型的干式涡旋真空泵机组,并于2003年初通过了国家真空设备质量检测中心的鉴定。必须指出的是,双侧涡圈结构要求动盘具有较高轴对称性,加工难度较大。
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