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干式螺杆真空泵机组的特性

点击次数:   更新时间:2018-06-19 18:12     来源:http://tutorkhoj.com/ 【关闭
             真空泵机组使用了独特的螺杆转子型线,动力节省30%,排气温度低,工艺稳定,此产品适用于各种领域的真空工艺,也维持了最佳的真空效率和耐用性。真空泵机组不使用油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥,溶剂回收,化工,制药,塑料等各种真空工艺。应用范围:在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
             制药行业,用于药物的真空干燥,药物中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺工业排气;集中式真空处理系统挤出机的混合工艺及板材的排气工艺混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于消除水污染,及喷射器中的阻塞物。涉及无忧污水真空处理的所有应用食品行业用于香料,香精浓度,食品包装等。

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